检测项目
定位精度检测：
- 静态位置偏差：XY轴定位误差（≤±5μm，参照ISO 9283）
- 重复定位精度：3σ标准差（≤0.01mm）
- 角度定位偏差：俯仰角/偏航角（±0.005°）
- 速度波动率：额定速度下波动系数（≤±1%）
- 加速度平稳性：急停/启动过冲量（≤0.2%）
- 轨迹跟随误差：空间路径偏差（≤50μm）
- 反向间隙：齿轮回程差（≤3arcsec）
- 丝杠螺距误差：累积误差（≤5μm/300mm）
- 导轨直线度：每米偏差（≤3μm）
- 编码器分辨率：线性分辨率（0.1μm）
- 光电开关响应：触发时间（≤1μs）
- 限位开关重复性：动作位置偏差（≤0.02mm）
- 温度漂移：-20℃~60℃定位偏移（≤±8μm）
- 振动干扰：5-500Hz扫频下位置波动（≤0.5μm）
- 伺服电流波动：额定负载波动率（≤±2%）
- EMC干扰：30V/m场强下位置偏移（≤10μm）
- 循环寿命：100万次运动后精度衰减（≤15%）
- 磨损量：导轨年磨损率（≤0.3μm/年）
- 急停响应时间：从触发到静止（≤80ms）
- 超程保护：硬限位触发距离（≥0.5mm）
- 多轴同步误差：XY轴协同偏差（≤0.01%）
- 主从跟随延迟：从轴响应时间（≤0.1ms）
- 指令解析精度：最小移动指令（0.001mm）
- 坐标转换误差：RTK矩阵计算偏差（≤0.005°）
检测范围
1. 安防监控云台： PTZ摄像机预置位精度，重点检测水平355°旋转重复定位误差
2. 工业机器人： 六轴关节机器人，检测TCP（工具中心点）空间定位重复性
3. 数控机床： 加工中心主轴定位，验证ATC（自动换刀装置）刀库位置精度
4. 半导体光刻机： 晶圆台步进精度，检测纳米级重复定位与防震性能
5. 医疗CT机架： 旋转扫描定位，验证DAS（数据采集系统）角度同步精度
6. 激光切割头： Z轴聚焦定位，检测动态跟随精度与穿孔位置偏差
7. 天文望远镜： 赤道仪跟踪定位，重点检测恒星跟踪模式下的角秒级偏差
8. 3D打印平台： 热床定位系统，验证层间对齐精度与平台平面度
9. 自动化仓储AGV： 磁导航传感器，检测路径跟踪精度与站点停靠偏差
10. 精密测量仪： 三坐标测量机，验证测头触发位置重复性与各轴正交误差
检测方法
国际标准：
- ISO 9283:2022 工业机器人性能规范
- IEC 62969-5:2021 半导体设备定位精度测试
- VDI/DGQ 3441 机床定位精度统计评估
- GB/T 17421.2-2022 机床检测通则（激光干涉仪应用）
- GB/T 12642-2023 工业机器人性能测试
- JJF 1251-2023 坐标测量机校准规范
检测设备
1. 激光干涉仪： RENISHAW XL-80（线性精度±0.5ppm，分辨率1nm）
2. 电子自准直仪： TAYLOR HOBSON Autocollimator（量程±1000arcsec，分辨率0.01arcsec）
3. 激光跟踪仪： API TRACKER3（测量半径40m，空间精度±15μm+6μm/m）
4. 电容位移传感器： LION PRECISION C5-C（量程±100μm，分辨率3nm）
5. 多自由度测量仪： ETALON LaserTracer（6DOF同步测量，角度精度0.5arcsec）
6. 动态信号分析仪： BRUEL & KJAER 3050-B（频率范围0-25.6kHz，相位精度0.1°）
7. 高精度转台： MOOG C256（径向误差≤0.15arcsec，轴向窜动≤0.05μm）
8. 惯性测量单元： XSENS MTi-680G（角速率范围±2000dps，噪声密度0.003dps/√Hz）
9. 光电编码器校验台： HEIDENHAIN KGM 182（角度分辨率0.0001°，系统误差≤±0.1arcsec）
10. 振动测试系统： PCB 356A01（三轴同步采样，动态范围160dB）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
